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真空泵

羅茨真空泵的機械及分子工作原理

時間:2015-10-24 11:22來源:未知 作者:admin 點擊:

雙葉羅茨真空泵的工作原理示意圖羅茨真空泵的工作原理圖,機械原理圖

羅茨真空泵工作時,泵腔內的一對轉子按圖示有箭頭方向同步旋轉,兩轉子 與泵體、兩側蓋所組成的進氣腔隨著轉子的旋轉不斷增大,將氣體從泵的進氣口吸入(如圖A、B所示);隨著轉子的進一步旋轉,吸入的氣體被關入封閉 的V0空間內(如圖C上陰影部分所示),再隨著轉子的旋轉,V0空間內 的氣體被轉移到與排氣腔接通,由于此時V0空間內的壓力較排氣腔要低,氣體就從排氣口返擴散到V0處,但轉子進一步旋轉時排氣腔不斷縮小,所以又將氣腔內 的較返流更多的氣體從排氣口排出,就這樣形成了羅茨真空泵的不斷吸氣與排氣

三葉羅茨真空泵的機械工作原理與兩葉的基本相同,區別在于三葉的把轉子分成三葉

羅茨真空泵的分子作用原理

羅茨真空泵在入口壓力很低情況下工作的。由于轉子轉速很高(各型號配的電機不同轉不也不同但都很高),轉子表面的線速度近于分子的熱運動速度,這時碰撞在轉子上的氣體分子被轉子攜帶到壓力較高的排氣側,再被前級預真空泵排除。

羅茨真空泵在兩種原理聯合作用下,促使期在(1.3X10³~1.3帕)區間內具有抽速大和抽速曲線平穩的特點。

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